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纳米薄膜技术

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纳米薄膜技术

技术特点

高洁净度

01

强耐化学腐蚀性

02

应用场景

应用于HCl/Cl2/F2等气体氛围中，以及ALD/CVD设备的匀气盘等核心部件强腐蚀气体传输管路内壁

应用于HCl/Cl2/F2等气体氛围中，以及ALD/CVD设备的匀气盘等核心部件强腐蚀气体传输管路内壁

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