工艺腔室主体
用于承载晶圆进行各种加工和处理。基座是半导体工艺设备中的一个关键组件，它的设计和性能对半导体制造过程至关重要，是确保产品质量和生产效率的重要基础。
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产品特点
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产品参数
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质量管理
产品特点
高精密
高密封性要求
制造工序繁琐
需多次焊接及加工
产品参数
| 材料 | 不锈钢 |
| 焊接方式 | 电子束 |
| 表面处理 | 电抛+氦测 |
质量管理
必威betway中文版入口质量管理秉承"好的质量是设计、制造出来的"为原则,关注客户端到端的质量服务,从研发、设计、过程全生命周期质量管理关注各环节中入口质量、过程质量、出口质量,以保证整体质量可控,最终构建成以以预防为主的质量文化,助力客户产品更具竞争力。
